28 0 0 0 建設機械の溶接補修
- 著者
- 塩屋博, 矢野直孝, 荒井敏夫 著
- 出版者
- 山海堂
- 巻号頁・発行日
- 1964
1 0 0 0 硬質BN薄膜における微小硬さの温度依存性
- 著者
- 田中 耕二 道本 隆裕 荒井 敏夫
- 出版者
- 一般社団法人電子情報通信学会
- 雑誌
- 電子情報通信学会総合大会講演論文集
- 巻号頁・発行日
- vol.1996, no.2, 1996-03-11
窒化ほう素(BN)は結晶構造や種々の特性において常に炭素(C)と比較される興味ある物質である.六方晶BN(hBN)はCにおけるグラファイトと類似の結晶構造で、固体潤滑材や絶縁材として、立方晶BN(cBN)はダイヤモンドと類似の結晶構造で、電子材料や切削材料などへの応用が期待されている.特にcBNはダイヤモンドに比べて高温まで安定なことや、鉄系材料の切削に対して安定であることは良く知られている.ここでは、サドルフィールド形のイオン源による窒素イオンの照射と、電子銃によるBの蒸発を同時に行う方法により、硬質BN膜を得た.そこで、Si(111)基板上に堆積させた硬質BN薄膜の硬さ(Hd)を、室温(RT)から800℃の範囲で測定した結果について報告する.