著者

石井 誉 赤井 亮文 川南 修一 春日 博 大森 整

出版者

公益社団法人 精密工学会

雑誌

精密工学会学術講演会講演論文集

巻号頁・発行日

vol.2017, pp.393-394, 2017

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LEDの普及により基材であるサファイアウェハの生産キャパアップおよび大型化が期待されている。そこで近年研究の進む固定砥粒での研削・研磨をサファイア加工へ適用することを試みた。今回、インフィード研削にELIDを応用することで、Υ8″サファイアウェハを加工する際の研削効率および表面粗さの改善が見られた。また砥石の種類を選定することにより、粗研削での研削効率や微細研削での表面粗さの更なる改善が見られた。