著者
石井 誉 赤井 亮文 川南 修一 春日 博 大森 整
出版者
公益社団法人 精密工学会
雑誌
精密工学会学術講演会講演論文集
巻号頁・発行日
vol.2017, pp.393-394, 2017

LEDの普及により基材であるサファイアウェハの生産キャパアップおよび大型化が期待されている。そこで近年研究の進む固定砥粒での研削・研磨をサファイア加工へ適用することを試みた。今回、インフィード研削にELIDを応用することで、Υ8″サファイアウェハを加工する際の研削効率および表面粗さの改善が見られた。また砥石の種類を選定することにより、粗研削での研削効率や微細研削での表面粗さの更なる改善が見られた。
著者
清水 裕彦 猪野 隆 武藤 豪 嶋 達志 佐藤 広海 大森 整 北口 雅暁 舟橋 春彦
出版者
名古屋大学
雑誌
学術創成研究費
巻号頁・発行日
2007

J-PARC スパレーション中性子源に、基礎物理学のための冷中性子ビームライン BL05 を建設・整備した。光学デバイスにより精密に制御された中性子ビームを用い、中性子寿命の高精度測定をはじめとする物理実験が行われている。超冷中性子の高密度輸送法などの開発は従来の限界を超える測定を可能にする。物質研究においても磁気集光光学系を用いた極冷中性子小角散乱や共鳴スピンエコーなど新たな測定法を開発した。