著者

田中 智之 木倉 丈 竹本 啓輝 垣内 弘章 安武 潔 大参 宏昌 阿部 淳子 酒井 伊都子 林 久貴 福原 成太

出版者

公益社団法人 精密工学会

雑誌

精密工学会学術講演会講演論文集

巻号頁・発行日

vol.2017, pp.469-470, 2017

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PPFC(Plasma Polymerization Fluorocarbon)膜は、絶縁性・耐薬品性を有する撥水膜として様々な応用が期待されている。しかし、その原料ガスには、C₄F₈など高次の炭素を含有するフルオロカーボンガスが用いられることがもっぱらであり、PPFC膜の形成を廉価なCF₄で実現できれば、コストメリットは大きい。そこで本研究ではCF₄原料ガスからのPPFC膜の高速形成を目指し、高圧プラズマを用いたCVDの適用を試みた。PPFC膜の形成に寄与するパラメータを調査した結果を報告する。