著者

進藤 春雄 沖村 邦雄

出版者

東海大学

雑誌

基盤研究(C)

巻号頁・発行日

2008

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次世代大型ディスプレイパネル対応の大面積プロセスや太陽電池薄膜CVD用大面積プラズマ源の実現を目的に、大規模マイクロ波ラインプラズマ生成技術の研究を行い、最長2mのラインプラズマ生成に成功した。プラズマ電子密度の軸方向一様性は長さ2mにわたって4%以内、電子密度は最大7x1011cm-3の高密度であり、電子密度の値がマイクロ波カットオフ密度より十分に高い密度となる条件が軸方向一様性を決めていることを明らかにした。