著者

大塚 二郎 十朱 寧 越水 重臣

出版者

静岡理工科大学

雑誌

基盤研究(C)

巻号頁・発行日

2010

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モータとボールねじからなる精密位置決め装置に存在する数箇所の熱源(主に,ボールねじ部と軸受部)により,位置決め装置のステージの熱変形ドリフト(熱に起因する位置決め誤差)が生じる.そこで本研究では,精密位置決め装置の軸受ハウジング側面2箇所とステージ上面の計3箇所にペルチェモジュール(以下,ペルチェと呼ぶ)を取り付け,ペルチェにかかる電圧を制御しながら冷却を行い,熱変形ドリフトを低減することを目指した.実験の結果,ハウジング部に対しては温度フィードバッグ制御を,ステージに対しては軸の熱変形量をフィードバッグ制御することにより,速度250mm/s,加速度1Gまでの条件下で,軸の熱変形量を2μm程度まで低減することに成功した.