著者

山形 積治 奈良 慎一 深井 一郎 安田 一次

出版者

The Institute of Electronics, Information and Communication Engineers

雑誌

電子情報通信学会論文誌 A (ISSN:03736091)

巻号頁・発行日

vol.J62-A, no.7, pp.436-443, 1979-07-25

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先にplano-convex AT-cut水晶振動子の振動モードをx′-y′断面について実測し,有限要素によってシミュレーションを加えた.その結果,特に厚み方向(y′軸)の応力の分布を明らかにした.今回は前述の結果,すなわち,y′軸方向の厚みすべりの応力T′6の分布が正弦関数状(厚みすべりの変位U′1は余弦関数状)になる,事実に基づきx′-z′平面(主平面)における厚みすべり振動の変位振幅U′1(x′,z′)分布の解析を行った.AT-cut水晶振動子を無限障壁を有するボテンシャル井戸と考えると,U′1に対する振動方程式はシュレーディンガー方程式となる.筆者らはこの方程式を原形のまま有限要素法を用いて解くことを試みた.その結果,共振周波数,振動モード共に実測値と極めて高い精度で一致することが明らかとなった.先にウィルソンが振動子を放物面障壁を有するポテンシャル井戸と仮定して解いた近似解よりも1けた以上も精度が高い点に本解析法の特色がある.