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単一電子を用いた二重スリットの干渉実験について、わたくしの知る範囲ではノーベル賞に最も近い物理学者といわれていた(惜しくも亡くなられた)外村彰氏が日立製作所中央研究所でされた研究のなかの一つがあなたの質問の解答になるかと思います。
確か尖端の極めて細いフィールドエミッション・ガンから非常に弱い電子を放出されている実験であったと記憶しています。
外村彰氏の解説がありましたので紹介します。 ...
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