著者

鴨井 督

出版者

一般社団法人 表面分析研究会

雑誌

Journal of Surface Analysis (ISSN:13411756)

巻号頁・発行日

vol.23, no.3, pp.160-166, 2017 (Released:2017-10-06)

参考文献数

12

被引用文献数

1

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オージェ電子分光分析(AES)は物質の数nmの最表面組成を判定できる反面,その測定対象は導電性を持つ材料に限定される.そのため,AESによる絶縁物観察のためには極薄の金属膜コートにより,試料表面に導電性を付与する等の前処理が必要となる.本報告では導電性付与のため,1原子層状物質であるグラフェンを測定対象上に保持することで,絶縁材料の微小領域におけるAES分析を実現した.