著者

原田 善之 田沼 繁夫

出版者

一般社団法人 表面分析研究会

雑誌

Journal of Surface Analysis (ISSN:13411756)

巻号頁・発行日

vol.27, no.2, pp.111-116, 2021 (Released:2022-12-29)

参考文献数

2

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Microsoft365における“Word”では,UnicodeやLaTeXによる数式の記述が“数式”挿入から使用可能なった.これによって数式入力は格段に進歩した.しかしながら,数式の美しさはLaTeXと比べて数段に劣っていると言わざるを得ない.そこで,“Word”の数式機能を用いてLaTeXに勝るとも劣らない美しさで数式を記述する方法を紹介する.

著者

福島 整

出版者

一般社団法人 表面分析研究会

雑誌

Journal of Surface Analysis (ISSN:13411756)

巻号頁・発行日

vol.17, no.1, pp.28-36, 2010 (Released:2011-09-07)

参考文献数

2

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分析業務にとって,数字の取り扱いは命である.有効数字やデータのばらつきは,ほとんどの現場担当者が無意識のうちに正当な方法で処理しているはずであるが,あらためて統計学の用語を目の前にすると自信を無くす人が多い.本講は,そのような人たちに自信を持たせ,あるいは体系的な知識を学習するための出発点と成ることを意図したものである.今回は,データの丸め方と,誤差の最も基礎的な部分について説明する.

著者

伊藤 克 松田 和大 青柳 里果

出版者

一般社団法人 表面分析研究会

雑誌

Journal of Surface Analysis (ISSN:13411756)

巻号頁・発行日

vol.28, no.2, pp.110-126, 2022-02-10 (Released:2022-10-01)

参考文献数

15

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飛行時間型二次イオン質量分析(TOF-SIMS)は質量スペクトルが複雑で解釈が難しい場合が多いため,主成分分析(PCA)や多変量スペクトル分解(MCR)などの多変量解析がTOF-SIMSデータの解析によく用いられているが,複雑な試料を解釈するためには,新たな解析手法を組み合わせて判断することがさらに効果的である.本研究では,4層高分子膜試料のTOF-SIMSデータに対して人工ニューラルネットワークに基づく次元削減手法である自己符号化器を用いた特徴抽出および特徴の分類を行うことで,autoencoderの有用性を評価した.

著者

松本 凌 西澤 侑吾 片岡 範行 田中 博美 吉川 英樹 田沼 繁夫 吉原 一紘

出版者

一般社団法人 表面分析研究会

雑誌

Journal of Surface Analysis (ISSN:13411756)

巻号頁・発行日

vol.22, no.3, pp.155-167, 2016 (Released:2016-05-31)

参考文献数

15

被引用文献数

9 9

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XPSスペクトルのバックグラウンド推定の方法は任意性が高く,バックグラウンドの形状によってピークの強度が変わるため定量分析の結果に大きく影響する.特に,最も多用されているiterative Shirley法では,指定されたXPSスペクトルの始点と終点でのデータ点の強度に大きく依存してバックグラウンド形状が変わる.本研究では,この依存性を低減する為,バックグラウンド推定をピークフィッティング中で行う動的Shirley法に着目し,これをCOMPROに組み込んで銅酸化物超伝導体のCu 2pスペクトルやSiO2薄膜のSi 2pスペクトルに対して適用した.その結果,バックグラウンドの端点位置やピークの関数型を変化させてもバックグラウンドの形状やピーク面積について変動の少ない安定した解が得られることが明らかとなった.

著者

吉原 一紘

出版者

一般社団法人 表面分析研究会

雑誌

Journal of Surface Analysis (ISSN:13411756)

巻号頁・発行日

vol.22, no.1, pp.2-10, 2015 (Released:2016-04-08)

参考文献数

16

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表面分析法が測定科学である以上,定量性に優れた最も良い方法は何かを探し求め,それを決定していくことが標準化のプロセスである.すなわち,標準化という作業は,表面分析を行う際に発生する誤差やばらつきを与える原因を一つ一つ科学的な検証に基づいて潰していき,最後に,それらが最も小さくなる「ワン・ベスト・ウェイ」を見つけることである.本解説では,互換性という概念から標準という概念に発展した経緯と,VAMASやISOなどの標準化活動と表面分析研究会の関わりを紹介する.

著者

鴨井 督

出版者

一般社団法人 表面分析研究会

雑誌

Journal of Surface Analysis (ISSN:13411756)

巻号頁・発行日

vol.23, no.3, pp.160-166, 2017 (Released:2017-10-06)

参考文献数

12

被引用文献数

1

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オージェ電子分光分析(AES)は物質の数nmの最表面組成を判定できる反面,その測定対象は導電性を持つ材料に限定される.そのため,AESによる絶縁物観察のためには極薄の金属膜コートにより,試料表面に導電性を付与する等の前処理が必要となる.本報告では導電性付与のため,1原子層状物質であるグラフェンを測定対象上に保持することで,絶縁材料の微小領域におけるAES分析を実現した.

著者

松村 純宏

出版者

一般社団法人 表面分析研究会

雑誌

Journal of Surface Analysis (ISSN:13411756)

巻号頁・発行日

vol.22, no.2, pp.110-117, 2015

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AESにおいてスパッタ深さ方向分析を行う場合,試料表面に対するイオンの入射角度はその目的に応じて選択される.スパッタイオンを試料表面に対して低角度で入射すると深さ分解能を向上させることできる.イオンの低角度での入射を実現するためには傾斜試料ホルダーとサンプルステージの回転を用いる必要がある.ステージの傾斜角と回転角の誤差がイオン入射角に与える影響について検討し,いくつかのAES装置のイオン銃の配置の場合について計算した結果を報告する.