著者

平本 俊郎

出版者

公益社団法人 応用物理学会

雑誌

応用物理 (ISSN:03698009)

巻号頁・発行日

vol.67, no.5, pp.571-575, 1998-05-10 (Released:2009-02-05)

参考文献数

10

被引用文献数

1

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大学院レベルを対象として,学部の教科書には通常書かれていない微細MOSFEITの勤作原理についてわかりやすく解説した.特に,実際のVLSげバィスで問題となっている短チャネル効果によるしきい値電圧の低下と,キャリアの速度飽和によるドレイン電流の減少について多少詳細に解説した.