著者
千葉 繁生 大山 恭史 播磨 和幸 近藤 和夫 篠原 邦夫
出版者
The Society of Chemical Engineers, Japan
雑誌
化学工学論文集 (ISSN:0386216X)
巻号頁・発行日
vol.22, no.2, pp.412-415, 1996-03-10
参考文献数
4
被引用文献数
1 4

Agglomerates of 100250 μm consisting of Si<SUB>3</SUB>N<SUB>4</SUB> primary particles of 0.76 μm were made with a rotary vibrating sieve. Si<SUB>3</SUB>N<SUB>4</SUB> fine particles were coated with AlN by gas phase reaction with AlCl<SUB>3</SUB> and NH<SUB>3</SUB> in some fluidized beds of the agglomerates. The cross sectional distribution of AlN in the agglomerate was measured by EPMA analysis. As a result, uniform deposition of AlN was obtained at a relatively low reaction temperature and low gas velocity.

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こんな論文どうですか? 流動層CVD法によるSi_3N_4微粒子のAlN被覆(千葉 繁生ほか),1996 http://t.co/XlMQCxOKa3 A…

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