著者

細野 秀雄

出版者

一般社団法人電子情報通信学会

雑誌

電子情報通信学会誌 = The journal of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers (ISSN:09135693)

巻号頁・発行日

vol.97, no.3, pp.178-186, 2014-03

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酸化物半導体は典型的な半導体とはかなり違った性質を有する.本稿では本小特集の序論としてその特徴を概説する.まず,バンドラインナップを基にキャリヤドーピングの成否とp/n指向性を総括的に解説する.次いで四つの具体例を取り上げ,典型的半導体と比較しながら,酸化物半導体の特徴を記述する.例としては,両極性酸化物半導体,超ワイドギャップ酸化物12CaO・7Al_2O_3への電子ドーピング,混合アニオン系酸化物半導体と透明アモルファス酸化物半導体を取り上げ,その特性を電子構造から解説する.そして最後に今後を展望する.