著者
伊藤 優一 大塚 二郎 金 弘中 柴田 均 増田 郁朗 斉藤 馨 恩田 一 田中 淑晴 大澤 洋文
出版者
公益社団法人 精密工学会
雑誌
精密工学会学術講演会講演論文集
巻号頁・発行日
vol.2008, pp.521-522, 2008

新型リニアアクチュエータ(呼称:トンネルアクチュエータ 日立製)とリニアモーションボールガイド,0.034nm分解能変位フィードバックセンサを用いて20kg質量のステージをPID制御で位置決めし,分解能0.3nm,100μmステップの応答を繰り返してかたより誤差0.04nm,ばらつき誤差0.09nmを得た.

言及状況

外部データベース (DOI)

Twitter (2 users, 5 posts, 0 favorites)

こんな論文どうですか? 新型リニアアクチュエータとリニアモーションボールガイドを用いたサブナノメートルレベル分解能の位置決め(伊藤 優一ほか),2008 https://t.co/QKtPdsjq5V
こんな論文どうですか? 新型リニアアクチュエータとリニアモーションボールガイドを用いたサブナノメートルレベル分解能の位置決め(伊藤 優一ほか),2008 https://t.co/QKtPdsjq5V
こんな論文どうですか? 新型リニアアクチュエータとリニアモーションボールガイドを用いたサブナノメートルレベル分解能の位置決め(伊藤 優一ほか),2008 https://t.co/QKtPdsjq5V
1 1 https://t.co/gLzyXd62n1
こんな論文どうですか? 新型リニアアクチュエータとリニアモーションボールガイドを用いたサブナノメートルレベル分解能の位置決め(伊藤 優一ほか),2008 https://t.co/QKtPdsjq5V

収集済み URL リスト