文献一覧: 恩田一 (著者)

2 0 0 0 新型リニアアクチュエータとリニアモーションボールガイドを用いたサブナノメートルレベル分解能の位置決め

著者: 伊藤優一大塚二郎金弘中柴田均増田郁朗斉藤馨恩田一田中淑晴大澤洋文
出版者: 公益社団法人精密工学会
雑誌: 精密工学会学術講演会講演論文集
巻号頁・発行日: vol.2008, pp.521-522, 2008

新型リニアアクチュエータ(呼称:トンネルアクチュエータ日立製)とリニアモーションボールガイド,0.034nm分解能変位フィードバックセンサを用いて20kg質量のステージをPID制御で位置決めし,分解能0.3nm,100μmステップの応答を繰り返してかたより誤差0.04nm,ばらつき誤差0.09nmを得た.

2017-08-05 07:15:11
2 + 0 Twitter

https://ci.nii.ac.jp/naid/130005029144
(info:doi/10.11522/pscjspe.2008S.0.521.0)

2 0 0 0 新型リニアアクチュエータとリニアモーションボールガイドを用いたサブナノメートルレベル分解能の位置決め

1 0 0 0 E123 パソコンによるCAIオーサリングシステムの開発