著者

伊藤 優一 大塚 二郎 金 弘中 柴田 均 増田 郁朗 斉藤 馨 恩田 一 田中 淑晴 大澤 洋文

出版者

公益社団法人 精密工学会

雑誌

精密工学会学術講演会講演論文集

巻号頁・発行日

vol.2008, pp.521-522, 2008

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新型リニアアクチュエータ(呼称:トンネルアクチュエータ 日立製)とリニアモーションボールガイド,0.034nm分解能変位フィードバックセンサを用いて20kg質量のステージをPID制御で位置決めし,分解能0.3nm,100μmステップの応答を繰り返してかたより誤差0.04nm,ばらつき誤差0.09nmを得た.