著者

荒川 翔平 山本 有悟 川合 健太郎 有馬 健太 山崎 大 丸山 龍治 林田 洋寿 曽山 和彦 山村 和也

出版者

公益社団法人 精密工学会

雑誌

精密工学会学術講演会講演論文集

巻号頁・発行日

vol.2020, pp.389, 2020

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<p>我々は数値制御プラズマCVMによる中性子顕微鏡用Wolterミラーマンドレルの作製に取り組んでいる.プラズマCVMは化学的な加工法であるため,材料除去率は表面温度に依存する.マンドレルは先細り形状の合成石英棒であるため,プラズマ照射時の温度上昇は先端ほど大きく,材料除去率の上昇分を照射時間で補正する必要がある.本報ではプラズマ照射時間の補正後に,マンドレルを形状修正した結果を報告する.</p>