著者

山本 有悟 荒川 翔平 川合 健太郎 有馬 健太 丸山 龍治 林田 洋寿 曽山 和彦 山村 和也

出版者

公益社団法人 精密工学会

雑誌

精密工学会学術講演会講演論文集

巻号頁・発行日

vol.2020, pp.415-416, 2020

---

<p>我々は,大気圧マイクロ波プラズマCVMを用いた中性子顕微鏡用Wolterミラーマンドレルの数値制御加工に取り組み,形状精度約0.5 µmを達成した.実用的な集光性能を得るためには表面粗さの改善が不可欠であるが,プラズマCVMの適用のみでは目標とする表面粗さの実現には至っていない.本報では加工後のマンドレル表面をPSD解析し,プラズマCVMの加工特性を評価した.</p>