著者
一色 実 三村 耕司 鈴木 茂
出版者
日本真空協会
雑誌
真空 (ISSN:05598516)
巻号頁・発行日
vol.45, no.5, pp.395-401, 2002-05-20 (Released:2009-10-20)
参考文献数
18
被引用文献数
4 1