著者

秋山 裕亮 岡田 睦 鈴木 浩文 難波 義治 三村 健 古南 典正

出版者

公益社団法人 精密工学会

雑誌

精密工学会学術講演会講演論文集 2016年度精密工学会秋季大会

巻号頁・発行日

pp.15-16, 2016-08-20 (Released:2017-02-20)

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マイクロレンズアレイは従来、射出成形が主流であるが,加工に熱収縮を伴うため、寸法精度が確保しにくい.紫外線(UV)硬化樹脂成形では,紫外線照射で硬化するため,転写精度の向上が期待される.本研究では,Rバイトで無電解Ni製金型を超精密切削し、高精度が得られることを示した.さらに,この金型を用いたUV成形実験を行い,マイクロレンズアレイが精密成形でき、硬化時に空気圧を与えることで、精度が良好になった。