1 0 0 0 OA UV成形によるマイクロレンズアレイの精密成形
- 著者
- 秋山 裕亮 岡田 睦 鈴木 浩文 難波 義治 三村 健 古南 典正
- 出版者
- 公益社団法人 精密工学会
- 雑誌
- 精密工学会学術講演会講演論文集 2016年度精密工学会秋季大会
- 巻号頁・発行日
- pp.15-16, 2016-08-20 (Released:2017-02-20)
マイクロレンズアレイは従来、射出成形が主流であるが,加工に熱収縮を伴うため、寸法精度が確保しにくい.紫外線(UV)硬化樹脂成形では,紫外線照射で硬化するため,転写精度の向上が期待される.本研究では,Rバイトで無電解Ni製金型を超精密切削し、高精度が得られることを示した.さらに,この金型を用いたUV成形実験を行い,マイクロレンズアレイが精密成形でき、硬化時に空気圧を与えることで、精度が良好になった。
1 0 0 0 OA Niめっき金型の超精密切削
- 著者
- 升田 裕樹 岡田 睦 鈴木 浩文 森田 晋也 郭 江 山形 豊 林 偉民
- 出版者
- 公益社団法人 精密工学会
- 雑誌
- 精密工学会学術講演会講演論文集 2014年度精密工学会秋季大会
- 巻号頁・発行日
- pp.57-58, 2014-09-01 (Released:2015-03-01)
X線望遠鏡では微弱なX線を観測するために反射鏡の形状精度,表面粗さは高精度なものが要求される.ダイヤモンド工具による超精密切削は研磨面に匹敵する表面粗さを短時間で得られる.近年,無電解Niおよび電解Niにおいて1mm程度の厚膜めっきが可能となった.そこで,本研究は電解ニッケルメッキ試料を超精密ダイヤモンド旋削し,送りや工具摩耗による試料表面粗さの変化や工具の摩耗について実験的に調べた.