1 0 0 0 PLD法による全固体EC素子用透明電極の作製
- 著者
- 吉村 仁志 門田 直也 赤峰 修一 大久保 利一
- 出版者
- 電気・情報関係学会九州支部連合大会委員会
- 雑誌
- 電気関係学会九州支部連合大会講演論文集
- 巻号頁・発行日
- vol.2010, pp.210-211, 2010
我々の研究室では,液体を使わない全固体によるEC素子の作製を目指している.全固体型EC素子では液漏れや発火の恐れがなく,素子の厚さを薄くすることが出来る.これに使われる透明電極をこれまではITO薄膜によって作製, 研究してきた.しかし,ITOに含まれるインジウムの生産量は世界的に限られていることや,それにともなう価格の高騰などの問題がある.そのためITO以外の材料でも透明電極の作製を目指している.新しく透明電極として使用するための素材として酸化亜鉛アルミニウム(AZO)に注目した.PLD法によってAZOの薄膜を作製,研究した.
