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文献一覧: 大橋 治彦 (著者)
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三面合わせ法を用いた平面基板の絶対形状校正
著者
湯本 博勝
松山 智至
三村 秀和
山内 和人
大橋 治彦
出版者
公益社団法人 精密工学会
雑誌
精密工学会学術講演会講演論文集 2012年度精密工学会秋季大会
巻号頁・発行日
pp.405-406, 2012-09-01 (Released:2013-03-01)
放射光X線ミラー用の表面形状計測装置として利用しているフィゾー型干渉計の参照面を絶対形状評価することを目的とし,三面合わせ法による校正を行った.温度環境を年間通じて±0.05℃に安定させた結果,参照面形状が相対湿度に応じて変形する現象を観察した.本効果を考慮した三面合わせ法を実施することで,145mm以上の長さに対して,PV1.5nmの確からしさで校正を行うことに成功した.