1 0 0 0 OA 三面合わせ法を用いた平面基板の絶対形状校正
- 著者
- 湯本 博勝 松山 智至 三村 秀和 山内 和人 大橋 治彦
- 出版者
- 公益社団法人 精密工学会
- 雑誌
- 精密工学会学術講演会講演論文集 2012年度精密工学会秋季大会
- 巻号頁・発行日
- pp.405-406, 2012-09-01 (Released:2013-03-01)
放射光X線ミラー用の表面形状計測装置として利用しているフィゾー型干渉計の参照面を絶対形状評価することを目的とし,三面合わせ法による校正を行った.温度環境を年間通じて±0.05℃に安定させた結果,参照面形状が相対湿度に応じて変形する現象を観察した.本効果を考慮した三面合わせ法を実施することで,145mm以上の長さに対して,PV1.5nmの確からしさで校正を行うことに成功した.
1 0 0 0 OA 高精度スティッチング干渉法に基づく硬X線ナノ集光ミラー用表面形状計測法の開発
- 著者
- 湯本 博勝
- 出版者
- (財)高輝度光科学研究センター
- 雑誌
- 若手研究(B)
- 巻号頁・発行日
- 2009
本研究では-ミラー型光学素子による硬X線ナノ集光実現を目的とし,本X線集光ミラーを作製するために必要となる形状精度を保証可能な表面形状計測システムの構築を行った.可視光位相シフト白色顕微干渉計を利用しミラーの部分的な表面形状計測を行うと同時に,各計測領域間の相対角度決定型の高精度スティッチング干渉法を開発した.これにより,ミラー全体形状に関して1nm単位の高精度なデータ算出が可能となった.