著者

奥山 雅則

出版者

The Surface Science Society of Japan

雑誌

表面科学 (ISSN:03885321)

巻号頁・発行日

vol.17, no.11, pp.648-653, 1996

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D-Eヒステリシス,大きい誘電率,顕著な圧電効果,焦電効果,電気光学効果を有する強誘電体の薄膜化法を概説するとともに,DRAM,不揮発性メモリ素子,低駆動電圧薄膜EL素子,Siモノリシック超音波センサ,焦電形赤外線FET,赤外線撮像素子,光変調素子,光スウィッチ,光偏向素子,マイクロモータ,光駆動マイクロカンチレバーなどの薄膜を用いた機能性電子デバイスの例について紹介する。

著者

井口 征士 奥山 雅則 加藤 博一 佐藤 宏介 沼田 卓久 千原 国宏

出版者

大阪大学

雑誌

試験研究(B)

巻号頁・発行日

1991

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研究計画調書・研究交付申請書に基づき、三次元立体物の画像認識のために非常に有効なデータである三次元画像を超高速に計測するICチップセンサを回路シミュレーションとディスクリート回路によるプロトタイプ計測装置でその構成技術を確立した。昨年度購入したシミュレーション用コンピュータ(Apple-MacIIfx一式)およびSPICEシュミレーショタソフト(Microsim-PSpice)、回路図入力CADソフト(Capilano-DesignWorks)により、回路図入力CADソフトで入力したセンサの回路構成をアナログ電子動特性シミュレーションを行った。その結果、昨年度の成果である、2つのホトディテクタを相補的に用いて素子のばらつきを補正させる点やDRAMのセンスアンプに似た電流比較回路が、通常のデジタルCMOS-ICの製作プロセスで製作可能な素子(CMOSインバータ、アナログスイッチ、ダイオード等)を用いて最終的な回路構成が決定できた。これにより実際に製作可能なことを確認できた。さらに、昨年度購入した制御用コンピュータ(Apple-MacIIci一式)およびデジタルストレージスコープ(日立電子VC-6045一台)、レーザダイオード、ガルバノミラーで、16×8画素のCMOS-ICを基本デバイスレベルとしたディスクリート回路によるプロトタイプ計測装置を開発した。120ヘルツ以上の動作を確認した。同時に、キャリブレーション方やこのシステムで得られる距離画像の時系列データから動く物体の認識を効率よく行うアルゴリズム、動距離画像の差分に基づく追跡アルゴリズムを開発した。