1 0 0 0 OA シリコン単結晶製造時における融液の流れ
- 著者
- 柿本 浩一 渡辺 匡人 江口 実 日比谷 孟俊
- 出版者
- 社団法人 日本流体力学会
- 雑誌
- 日本流体力学会誌「ながれ」 (ISSN:02863154)
- 巻号頁・発行日
- vol.13, no.1, pp.5-15, 1994-02-28 (Released:2011-03-07)
- 参考文献数
- 27
The quality of large semiconductor crystals grown from silicon melts is significantly affected by the heat and mass transfer in the melt. The characteristics of silicon flows are reviewed by focusing on the Coriolis force in the rotating melt. Description of flow instability is included that shows our level of understanding of melt convection with a low Prandtl number.
1 0 0 0 OA バルク結晶成長技術の基礎
- 著者
- 柿本 浩一
- 出版者
- 公益社団法人 応用物理学会
- 雑誌
- 応用物理 (ISSN:03698009)
- 巻号頁・発行日
- vol.65, no.7, pp.704-709, 1996-07-10 (Released:2009-02-05)
- 参考文献数
- 18
- 被引用文献数
- 2
バルク結晶成長における熱と物質の輸送現象を制御する方法の紹介をする.ざらに熱平衡に極めて近いバルク結晶成長において有効な相図が材料設計に与える効果についても紹介する.また最近話題となっている結晶成長中の熱と物質との輸送現象について,ウエープレット変換法などを利用した新しい解析手法を用いた研究結果について概観する.最後に,最近注目を浴びている原子レベルの現象とバルク結晶成長との係わりについても概観する.