著者
永村 直佳
出版者
公益社団法人 日本表面真空学会
雑誌
表面と真空 (ISSN:24335835)
巻号頁・発行日
vol.65, no.11, pp.532, 2022-11-10 (Released:2022-11-10)
参考文献数
6