- 著者
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近藤 余範
野口 昭治
近藤 孝之
直井 一也
高辻 利之
黒澤 富蔵
- 出版者
- 公益社団法人 精密工学会
- 雑誌
- 精密工学会学術講演会講演論文集
- 巻号頁・発行日
- vol.2004, pp.406, 2004
歯形測定機の精度を2個のマスタボールを用いてnmオーダで校正する研究開発を行っている。この場合、ボール中心間距離の測定不確かさは100nm以下であることが要求される。この目的には、三次元測定機が一般的に用いられるが、測定精度が十分でなく、測定点数には限りがあり、ボールの形状偏差が大きな不確かさ要因となる。そこで、ボールの形状を連続的に測定し、形状偏差の影響を受けにくいボール中心間距離測定装置を開発した。