著者

升田 裕樹 岡田 睦 鈴木 浩文 森田 晋也 郭 江 山形 豊 林 偉民

出版者

公益社団法人 精密工学会

雑誌

精密工学会学術講演会講演論文集 2014年度精密工学会秋季大会

巻号頁・発行日

pp.57-58, 2014-09-01 (Released:2015-03-01)

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X線望遠鏡では微弱なX線を観測するために反射鏡の形状精度,表面粗さは高精度なものが要求される.ダイヤモンド工具による超精密切削は研磨面に匹敵する表面粗さを短時間で得られる.近年,無電解Niおよび電解Niにおいて1mm程度の厚膜めっきが可能となった.そこで,本研究は電解ニッケルメッキ試料を超精密ダイヤモンド旋削し,送りや工具摩耗による試料表面粗さの変化や工具の摩耗について実験的に調べた.