著者
黒崎 靖
出版者
三重大学
雑誌
一般研究(C)
巻号頁・発行日
1988

昨年度に引き続き、セラミックス、ガラス等の硬脆材料に適用可能で、経済性・生産性に優れた新加工法(VM/AFMプロセス)の開発をめざして理論的および実験的検討を行った。本年度は、この手法の実用化および用途拡大の観点から、汎用加工機械にVM/AFMプロセスを適用できるようにしながら微細穴あけおよび異形穴あけを行うことを目標とした。得られた主な成果は次の通りである。1。ガラス板の微細穴あけまず、厚さ80μmのホウケイ酸ガラス板に直径300μmの単一微細丸穴を加工する問題を取り上げ、FEM解析を行ってVMの妥当性を検討した後、実験により本法の適用性を調べた。この結果、クラック抑制板を採用する手法が有効であり、ねらい通り穴あけを達成することができた。また、クラック抑制板の最適条件を明らかにすることができた次いで、同一材料に直径300μmの多数丸穴を1ショットで同時加工することを試み、穴あけに成功した。2。ガラス板の異形穴あけソ-ダ石灰ガラス板に異形形状の穴(三角穴および四角穴)をあける問題についてFEM解析を行った後、穴あけ実験を行い、VM/AFMプロセスが有効であることを確かめた。3。AFMプロセスによる加工穴の高精度化AFMプロセスを四角穴あけに適用してその効果を調べた結果、昨年度明らかにした丸穴の場合と同様に、加工穴精度および性状の改善に有効なことが分った。以上のようにして、硬脆材料に対する新しい穴あけ加工技術(VM/AFMプロセス)を開発し、ほぼ所期の目的を達成することができた。