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文献一覧: 02898411 (ISSN)
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ダブルパルスエキシマレ-ザ-照射によるSiへの拡散層高速形成コンピュ-タシミュレ-ションによる解析
著者
十文字 正之
杉岡 幸次
高井 裕司
出版者
理化学研究所
雑誌
レ-ザ-科学研究
(
ISSN:02898411
)
巻号頁・発行日
no.19, pp.61-63, 1997-09