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[電子工作][研究] Alの研 磨用 エッ チ液は リン酸:硝 酸:酢 酸=5:4:1が 知 られ て い る が,こ のよ うに硝酸濃度の高 い液は レジス トを浸す.従 って リン酸:硝 酸1酔 酸=水=10:1:2=1の 組成を も つエ ッチ液を使 う.
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