1 0 0 0 OA 光リソグラフィの解像度の限界解像度を超えるナノインプリント技術開発
- 著者
- 井上 壮一 櫻井 淳平
- 出版者
- 公益社団法人 精密工学会
- 雑誌
- 精密工学会誌 (ISSN:09120289)
- 巻号頁・発行日
- vol.86, no.4, pp.239-242, 2020-04-05 (Released:2020-04-05)
- 著者
- 小谷 敏也 井上 壮一
- 出版者
- 一般社団法人電子情報通信学会
- 雑誌
- 電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス
- 巻号頁・発行日
- vol.104, no.323, pp.33-34, 2004-09-20
- 参考文献数
- 6