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文献一覧: 山崎 努 (著者)
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OA
LED用サファイヤ単結晶基板の超精密CMP加工技術とそのPSS加工プロセスへの応用
著者
會田 英雄
青田 奈津子
木村 豊
川又 友喜
小山 浩司
山崎 努
土肥 俊郎
出版者
公益社団法人 精密工学会
雑誌
精密工学会誌
(
ISSN:09120289
)
巻号頁・発行日
vol.78, no.11, pp.932-936, 2012-11-05 (Released:2013-05-05)
参考文献数
7