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1 0 0 0 OA LED用サファイヤ単結晶基板の超精密CMP加工技術とそのPSS加工プロセスへの応用

著者
會田 英雄 青田 奈津子 木村 豊 川又 友喜 小山 浩司 山崎 努 土肥 俊郎
出版者
公益社団法人 精密工学会
雑誌
精密工学会誌 (ISSN:09120289)
巻号頁・発行日
vol.78, no.11, pp.932-936, 2012-11-05 (Released:2013-05-05)
参考文献数
7