著者

浜野 哲子 縫村 修次 渡辺 文夫 莅戸 立夫 〓 鐘石 水野 皓司

出版者

一般社団法人電子情報通信学会

雑誌

電子情報通信学会技術研究報告. MW, マイクロ波 (ISSN:09135685)

巻号頁・発行日

vol.100, no.366, pp.1-6, 2000-10-13

参考文献数

6

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ミリ波帯走査型近接場顕微鏡は, 波長以下の高い空間分解能によるの非破壊材料検査等の利用が期待されている.本近接場顕微鏡システムでは, 物体からの反射係数がコントラストとして画像化される.そのため, 例えば比誘電率などの, 直接反射係数に変化を与える物体の物性定数を, コントラストから評価することが可能である.本発表では, コントラストの定量評価実現に向けた検討として, 以下の2点について報告する.1)測定値の誤差を与える原因は有限サイズの平板誘電体にあることを突きとめ, 平板誘電体の表面波伝搬が低減されるようにシステム構造の改善を行なった.その結果, 10%以上あった測定不確定率が5%以内に低減された.2)コントラストの定量評価には, 物性定数と反射係数との相関関係を理論予測する必要がある.そこで, スリット型プローブを有する本近接場顕微鏡システムの等価回路を新たに構成し, その妥当性を実験的に確認した.

著者

浜野 哲子 ヴィクタ ルベッキ 水野 皓司

出版者

一般社団法人電子情報通信学会

雑誌

電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス

巻号頁・発行日

vol.98, no.518, pp.7-12, 1999-01-21

被引用文献数

3

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高性能なサブミリ波帯回路の構成に際し, 微小な3次元導波管などの回路素子が不可欠である.しかし, そのような回路素子を通常の機械加工で製作するのは, 技術的に困難であると共に非常に製作コストが高い.マイクロマシニング技術では, フォトリソグラフ技術を用いるため微細加工が可能であり, また並列加工によって低コストでの大量生産が可能である.本研究では, フォトレジストとしてUV硬化レジンを加工し, 2.5THz帯・640GHz帯の導波路用バックショート及び640GHz帯ダイクロイック板を試作した.このレジンは10:1以上のアスペクト比の加工が可能であるので, サブミリ波帯回路素子の製作に広く応用できると思われる.