著者

清水 徹英 ミシェル ビラマヨア ジュリアン ケラウディ ダニエル ルンディン ウルフ ヘルマーソン

出版者

一般社団法人 日本真空学会

雑誌

Journal of the Vacuum Society of Japan (ISSN:18822398)

巻号頁・発行日

vol.60, no.9, pp.346-351, 2017 (Released:2017-09-13)

参考文献数

29

被引用文献数

2

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This is to review a novel approach stabilizing reactive mode at transition regime in reactive high-power impulse magnetron sputtering (R-HiPIMS). The proposed method is based on a real-time monitoring of peak discharge current. To stabilize the process conditions at a given set point, a feedback control system, which automatically regulates the pulse frequency, and thereby the average sputtering power, was implemented to maintain a constant maximum discharge current. As a representative result, the variation of the pulse current waveforms over a wide range of reactive gas flows and pulse frequencies during a R-HiPIMS of Hf in an Ar-N2 atmosphere illustrates that the discharge current waveform is an excellent indicator of the process conditions. Applicability of the proposed method was successfully demonstrated.

著者

清水 徹英

出版者

首都大学東京

雑誌

若手研究(B)

巻号頁・発行日

2014-04-01

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本研究では、硬質/軟質相が面内方向に規則配列された「面内ヘテロ構造」を有するテクスチャード表面を実現することで,連続摺動に伴う摩耗をパッシブに利用し,軟質相の選択的摩耗を促進させることでテクスチャ構造の自己形成化を図るものである.特に提案する面内ヘテロ構造の創製手法の確立およびその基礎摩擦・摩耗特性を解明することを研究目的とした.本研究を通して,イオン化蒸着法,酸素プラズマエッチング,プラズマCVD法を同一チャンバー内で行うことにより,面内ヘテロ構造を有するDLC膜の形成に成功した.創製した面内ヘテロ構造DLC膜における軟質相の選択的な優先摩耗挙動を明らかにし本提案手法の有効性を示した.