1 0 0 0 OA 集束イオンビーム加工によるサファイヤ基板上のナノステップ制御
- 著者
- 竹内 敦子 古滝 敏郎 小山 浩司 砂川 和彦 矢口 洋一 松井 良憲 村杉 政一 関 修平 田川 精一 原 和香奈 吉本 護
- 出版者
- 公益社団法人 日本セラミックス協会
- 雑誌
- Journal of the Ceramic Society of Japan (日本セラミックス協会学術論文誌) (ISSN:09145400)
- 巻号頁・発行日
- vol.113, no.1319, pp.478-483, 2005 (Released:2005-07-01)
- 参考文献数
- 21
- 被引用文献数
- 1 1
Nano-dots array whose diameter and interval were approximately 200 nm and 750 nm, respectively, were made parallel to the atomic step edges on sapphire wafers by focused ion beam (FIB) system. Upon annealing a bunched multi-steps structure formed at regularintervals and straight because the steps were pinned at the nano-dots. The step heights andterrace widths were approximately 2.0 nm, 700 nm in off-angle 0.15° and 10.0 nm, 350 nm in off-angle 1.0°, respectively.
1 0 0 0 高S/Nスペクトル計測可能なピコ秒パルスラジオリシスの開発
- 著者
- 佐伯 昭紀 古澤 孝弘 田川 精一
- 出版者
- 一般社団法人 日本原子力学会
- 雑誌
- 日本原子力学会 年会・大会予稿集
- 巻号頁・発行日
- vol.2006, pp.147, 2006
ピコ秒・サブピコ秒パルスラジオリシスはビーム誘起超高速反応を直接観察する上で非常に強力なツールである。今回、可視光領域において高S/N比で広いスペクトルを高効率で測定できるシステムを開発したので報告する。