著者

関 修平

雑誌

学術変革領域研究(A)

巻号頁・発行日

2020-11-19

著者

竹内 敦子 古滝 敏郎 小山 浩司 砂川 和彦 矢口 洋一 松井 良憲 村杉 政一 関 修平 田川 精一 原 和香奈 吉本 護

出版者

公益社団法人 日本セラミックス協会

雑誌

Journal of the Ceramic Society of Japan (日本セラミックス協会学術論文誌) (ISSN:09145400)

巻号頁・発行日

vol.113, no.1319, pp.478-483, 2005 (Released:2005-07-01)

参考文献数

21

被引用文献数

1 1

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Nano-dots array whose diameter and interval were approximately 200 nm and 750 nm, respectively, were made parallel to the atomic step edges on sapphire wafers by focused ion beam (FIB) system. Upon annealing a bunched multi-steps structure formed at regularintervals and straight because the steps were pinned at the nano-dots. The step heights andterrace widths were approximately 2.0 nm, 700 nm in off-angle 0.15° and 10.0 nm, 350 nm in off-angle 1.0°, respectively.

著者

杉本 雅樹 出崎 亮 関 修平 伊藤 洋 山本 春也 吉川 正人

出版者

独立行政法人日本原子力研究開発機構

雑誌

基盤研究(B)

巻号頁・発行日

2007

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セラミックスの原料である高分子材料の薄膜にイオンビームを照射することで、個々のイオン粒子の飛跡に沿って薄膜中に円筒形の架橋部分を形成し、それ以外の未架橋部を溶媒で除去することで直径数十ナノメートルの高分子ナノファイバーが作製できた。この原料高分子材料に、触媒能等を有する機能性金属をあらかじめ混合しておくことで、金属を含有した高分子ナノファイバーが作製可能であり、これを不活性ガス中で焼成することで、触媒金属を含有したセラミックナノファイバーが作製可能であることを明らかにした。このナノファイバーの長さ・太さ・形成数は、それぞれ高分子薄膜の厚さ、イオンビームの線エネルギー付与(単位飛跡あたり高分子材料に与えるエネルギー量)、射量(イオンビームの個数)で独立して制御可能である。また薄膜に対し、斜め45°で異なる4方向からイオンを照射することで、薄膜中でイオンの飛跡を3次元的に交錯させ、ナノファイバーを立体的に接続した3Dナノメッシュ構造が形成可能であることを明らかにした。