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文献一覧: 藤井 秀一 (著者)
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OA
スムーズインパクト駆動機構(SIDM)の開発(第9報) SIDMを利用した位置決めステージへの応用
著者
吉田 龍一
干野 隆之
藤井 秀一
飯田 克彦
古田 淳
出版者
公益社団法人 精密工学会
雑誌
精密工学会学術講演会講演論文集 2006年度精密工学会春季大会
巻号頁・発行日
pp.879-880, 2006-03-05 (Released:2007-01-31)
コニカミノルタにおいて開発してきたSIDMは,デジタルカメラの手振れ補正用,携帯電話カメラのAF用のアクチュエータとして既に実用化されている.ただし,これらはSIDMの粗動(ノコギリ変位で動かす)のみを用いる応用であった.これに対し今回,SIDMの粗動,微動(圧電素子そのものの変位で動かす)を用いた位置決め用ステージをナノコントロールと共同で開発したので報告する.