著者

吉田 龍一 干野 隆之 藤井 秀一 飯田 克彦 古田 淳

出版者

公益社団法人 精密工学会

雑誌

精密工学会学術講演会講演論文集 2006年度精密工学会春季大会

巻号頁・発行日

pp.879-880, 2006-03-05 (Released:2007-01-31)

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コニカミノルタにおいて開発してきたSIDMは,デジタルカメラの手振れ補正用,携帯電話カメラのAF用のアクチュエータとして既に実用化されている.ただし,これらはSIDMの粗動(ノコギリ変位で動かす)のみを用いる応用であった.これに対し今回,SIDMの粗動,微動(圧電素子そのものの変位で動かす)を用いた位置決め用ステージをナノコントロールと共同で開発したので報告する.