著者

吉田 龍一 干野 隆之 藤井 秀一 飯田 克彦 古田 淳

出版者

公益社団法人 精密工学会

雑誌

精密工学会学術講演会講演論文集 2006年度精密工学会春季大会

巻号頁・発行日

pp.879-880, 2006-03-05 (Released:2007-01-31)

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コニカミノルタにおいて開発してきたSIDMは,デジタルカメラの手振れ補正用,携帯電話カメラのAF用のアクチュエータとして既に実用化されている.ただし,これらはSIDMの粗動(ノコギリ変位で動かす)のみを用いる応用であった.これに対し今回,SIDMの粗動,微動(圧電素子そのものの変位で動かす)を用いた位置決め用ステージをナノコントロールと共同で開発したので報告する.

著者

森 英季 干野 隆之 大日方 五郎 大内 一弘

出版者

一般社団法人電子情報通信学会

雑誌

電子情報通信学会技術研究報告. MR, 磁気記録 (ISSN:09135685)

巻号頁・発行日

vol.100, no.625, pp.25-30, 2001-02-09

被引用文献数

2

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直動型空気静圧軸受けを有するリニア・アクチュエータを用いて、高精度トラック・フォローイング及び高速なシーク動作のための位置決め機構を提案した。試作したアクチュエータの共振周波数は、市販HDDに搭載されているロータリ型に比べ、約2倍程高いことが確認できた。このトラッキング・システムを用いてトラッキングを行なったところ、一般に許容されるトラッキングエラー(トラック幅の1/10)の更に1/2でトラック・フォローできることを確認した。またPDコントローラを用いたフィードバック制御によって、100Gbit/in^2以上の高TPIで必要となる10nm分解能の高精度位置決めが可能であることをステップ応答やランプ応答から検証した。