著者

金丸 正剛 伊藤 順司

出版者

一般社団法人 映像情報メディア学会

雑誌

テレビジョン学会誌 (ISSN:03866831)

巻号頁・発行日

vol.45, no.5, pp.612-617, 1991-05-20 (Released:2011-03-14)

参考文献数

21

被引用文献数

1

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ミクロン以下のサイズの電子放出源を利用した真空管の研究開発が活発になっている.我々が行っている素子試作結果を報告するとともに, この分野の研究動向を電子源の作製方法とその応用例を中心に紹介し, 今後の展望を述べる.

著者

名塚 雄太郎 安室 千晃 井上 貴仁 横山 浩 平野 貴之 金丸 正剛 伊藤 順司

出版者

一般社団法人電子情報通信学会

雑誌

電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス

巻号頁・発行日

vol.94, no.404, pp.39-44, 1994-12-15

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走査型マクスウェル応力顕微鏡(SMM)は,探針と試料表面の間に働く微弱な電気力を測定する走査型プローブ顕微鏡である.特徴は,非接触で表面電位と形状の2次元イメージを同時にしかもナノスケールの分解能で測定できる事である.電界放射エミッタの高機能化を図るひとつの手段として,その表面状態の高精度な制御技術の開発が考えられる.そこで,このSMMを用いて各種エミッタ材料の表面状態(表面電位,形状)の観察,評価を行い,エミッタ高機能化への手がかりを得るのが本研究の目的である.本稿では,SMMの原理や使用したカンチレバーについて述べるとともに,Al,Mo,Nbなどの表面電位の測定結果を議論する.