1 0 0 0 OA 異物起因歩留りの予測手法
- 著者
- 小野 眞 岩田 尚史 馬場 毅 金子 俊一
- 出版者
- 一般社団法人 電気学会
- 雑誌
- 電気学会論文誌C(電子・情報・システム部門誌) (ISSN:03854221)
- 巻号頁・発行日
- vol.130, no.8, pp.1404-1410, 2010-08-01 (Released:2010-08-01)
- 参考文献数
- 21
Control charts are widely applied to monitoring quality variation from stable status to instable status in many manufacturing lines. Large-scale integrated circuit(LSI) manufacturing requires to monitor thin film thicknesses, circuit pattern dimensions, particle count on a wafer and so on. This paper proposes a new monitoring method for particles on a wafer. If particles induce random location based on Poison distribution, the c-chart is applicable. However, actual particle generation is not dependent of Poison distribution and then the c-chart indicates many false alarms. The proposed method predicts particle-limited yield to apply the p-chart to monitoring particle data. The method uses data outputted by a particle inspection tool such as a particle location and a scattered light intensity with respect to each particle. Experiments show that the method reduces false alarms.
1 0 0 0 OA 近代中国華北農村の水利組織と村落、宗教圏について--河北省[ケイ]台県を例として
- 著者
- 馬場 毅
- 出版者
- 愛知大学国際問題研究所
- 雑誌
- 愛知大学国際問題研究所紀要 = Journal of international affairs (ISSN:05157781)
- 巻号頁・発行日
- no.135, pp.23-37, 2010-03-10
1 0 0 0 OA 華中特務工作の回想--梶野渡氏インタヴュー
- 著者
- 三好 章 馬場 毅 広中 一成
- 出版者
- 愛知大学国際問題研究所
- 雑誌
- 愛知大学国際問題研究所紀要 = Journal of international affairs (ISSN:05157781)
- 巻号頁・発行日
- no.136, pp.31-63, 2010-11
1 0 0 0 山東抗日根拠地における財政問題
- 著者
- 馬場 毅
- 出版者
- 早稲田大学史学会
- 雑誌
- 史観 (ISSN:03869350)
- 巻号頁・発行日
- no.110, pp.p43-60, 1984-03
1 0 0 0 山東省の傀儡軍について
- 著者
- 馬場 毅
- 出版者
- 早稲田大学アジア太平洋研究センタ-
- 雑誌
- 社会科学討究 (ISSN:05829291)
- 巻号頁・発行日
- vol.39, no.3, pp.p843-872, 1994-03
1 0 0 0 山東抗日根拠地と紅槍会
- 著者
- 馬場 毅
- 出版者
- 一般社団法人中国研究所
- 雑誌
- 中国研究月報 (ISSN:09104348)
- 巻号頁・発行日
- vol.48, no.3, pp.29-40, 1994-03-25
- 著者
- 馬場 毅
- 出版者
- 錦正社
- 雑誌
- 軍事史学 (ISSN:03868877)
- 巻号頁・発行日
- vol.43, no.3, pp.259-274, 2008-03