著者

川上 彰二郎 花泉 修 佐藤 尚 大寺 康夫 川嶋 貴之

出版者

一般社団法人電子情報通信学会

雑誌

電子情報通信学会論文誌. C-I, エレクトロニクス, I-光・波動 (ISSN:09151893)

巻号頁・発行日

vol.80, no.6, pp.296-297, 1997-06-25

被引用文献数

20

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2種類の透明媒質からなるサブミクロン周期3次元構造を初めて作製し, 光学的に観察した結果について報告する. 材料系はSi(n=3.26) とSiO_2(n=1.46) であり, バイアススパッタリング法によって凹凸パターンを保存しながら積層することができた. 3次元周期構造部分のパスバンドとストップバンドが1次元のみの周期構造部分に対して大きく変化している様子が確認された.