著者

川上 彰二郎 大寺 康夫 川嶋 貴之

出版者

公益社団法人 応用物理学会

雑誌

応用物理 (ISSN:03698009)

巻号頁・発行日

vol.68, no.12, pp.1335-1345, 1999-12-10 (Released:2009-02-05)

参考文献数

42

被引用文献数

3

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屈折率の異なる複数種類の透明材料が多次元的に周期配列した構造体である「フォトニック結晶」は,光に対する禁制帯であるフォトニック・バンドギャップ (PBG) と大きな異方性・分散性で特徴づけら れる,まったく新しい光材料である.これらの性質;を利用することで,超小型光集積回路や高効率発光素子など次世代の光エレクトロニクス素子が可能となる.著者らはこれまで, rfバイアス・スパッタ法 による堆積膜の形状の自己整形作用を利用した「自己クローニング」とよぶ技術を開発し,多次元フォトニック結晶の作製を行ってきた.本稿では,従来の結晶合成技術と著者らの作製法の特徴,そしてデ バイス応用例について概説する.

著者

佐藤 尚 小形 哲也 川嶋 貴之 井上 喜彦 川上 彰二郎

出版者

一般社団法人電子情報通信学会

雑誌

電子情報通信学会技術研究報告. CPM, 電子部品・材料 (ISSN:09135685)

巻号頁・発行日

vol.106, no.248, pp.1-5, 2006-09-08

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フォトニック結晶とは,人工的に形成した微細な周期構造体からなる新しい光学材料である.自己クローニング法は生産性・再現性の優れた独自のフォトニック結晶製造技術である.さらに異なる特性のフォトニック結晶の集積化が容易であり,フォトニック結晶の産業応用を可能にするキーテクノロジーとなっている.現在は光記録、イメージング、ディスプレイを始め光計測,光通信など光産業への幅広い応用展開を進めている.

著者

川上 彰二郎 花泉 修 佐藤 尚 大寺 康夫 川嶋 貴之

出版者

一般社団法人電子情報通信学会

雑誌

電子情報通信学会論文誌. C-I, エレクトロニクス, I-光・波動 (ISSN:09151893)

巻号頁・発行日

vol.80, no.6, pp.296-297, 1997-06-25

被引用文献数

20

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2種類の透明媒質からなるサブミクロン周期3次元構造を初めて作製し, 光学的に観察した結果について報告する. 材料系はSi(n=3.26) とSiO_2(n=1.46) であり, バイアススパッタリング法によって凹凸パターンを保存しながら積層することができた. 3次元周期構造部分のパスバンドとストップバンドが1次元のみの周期構造部分に対して大きく変化している様子が確認された.