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2 0 0 0 透明フレキシブルReRAM用透明導電膜の研究

著者
岸 啓 木下 健太郎 中原 子竜 奥谷 匠 田中 隼人 岸田 悟
出版者
公益社団法人 日本表面科学会
雑誌
表面科学学術講演会要旨集
巻号頁・発行日
vol.30, pp.269-269, 2010
rfスパッタ, オフアクシズ, GaドープZnO(GZO), 低温成膜, プラスチック基板

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