著者

岸 啓 木下 健太郎 中原 子竜 奥谷 匠 田中 隼人 岸田 悟

出版者

公益社団法人 日本表面科学会

雑誌

表面科学学術講演会要旨集

巻号頁・発行日

vol.30, pp.269-269, 2010

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rfスパッタ, オフアクシズ, GaドープZnO(GZO), 低温成膜, プラスチック基板