著者

橋本 亮 岸本 俊二 熊井 玲児 五十嵐 教之 新井 康夫 三好 敏喜 西村 龍太郎

出版者

一般社団法人 日本物理学会

雑誌

日本物理学会講演概要集 71.2 (ISSN:21890803)

巻号頁・発行日

pp.2506, 2016 (Released:2017-12-05)

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KEK/PF では Silicon-On-Insulator (SOI) 技術を用いたモノリシック構造の二次元検出器の開発を進めている。バンプボンディングによる製造上の制約や静電容量の付加を抑えられる等の SOI の特徴をいかし、X 線回折や X 線小角散乱に用いるための高精細・高速応答可能な検出器の開発を目指す。本講演では、中国高能研と共同研究として評価を進めているパルス計数型 SOI TEG 「CPIXTEG3b」の放射光 X 線による評価実験について進捗を報告する。

著者

新井 康夫 坪山 透 原 和彦 三好 敏喜 海野 義信 一宮 亮

出版者

大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構

雑誌

基盤研究(A)

巻号頁・発行日

2009

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本研究では、Silicon-On-Insulator (SOI)技術を用い、50 ミクロン程度まで薄くでき、100 万以上の画素数を持つピクセル放射線検出器(SOIPIX)を開発した。またこの検出器を用いて、実際に加速器ビームを照射し、数ミクロンオーダの位置精度が得られる事を実証した。さらに、荷電粒子やガンマ線を用いた放射線耐性試験を行い詳細なデータを得ると共に、シミュレーションによりそのメカニズムを解明し、放射線耐性の向上の為にプロセスの改良を行った。