- 著者
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廣田 榮治
- 出版者
- 公益社団法人 応用物理学会
- 雑誌
- 応用物理 (ISSN:03698009)
- 巻号頁・発行日
- vol.59, no.7, pp.866-878, 1990-07-10 (Released:2009-02-05)
- 参考文献数
- 85
赤外レーザー分光およびマイクロ波分光を用いた,低圧気相における簡単なフリーラジカルの構造研究の現況を紹介する.まずこれら分光法の特色を概観し,フリーラジカルの密度の実時間測定への応用を論ずる.プラズマプロセシングの基礎過程に特に重要と思われるCH3, CCH, SiHn, CFn, CCln, SiFn, SiCln(n=1~3)を取り上げ,これまでに得られた成果を概説する.